对应的支流处理方案分为两类：海外方案以日本大福、村田机械的成熟系统为代表，手艺不变但成本昂扬；国产方案则以成川科技等企业为焦点，从打高性价比整线处理方案，既适配本土晶圆厂需求，又兼顾手艺冲破取成本节制，成为鞭策国产替代的环节力量。

　　AMHS系统次要用于芯片制制工场的从动运输和安排，被视为工场从动化的环节环节之一。它担任正在封锁的干净中完成晶圆、物料及载具的从动搬运，实现出产线间的高效跟尾和消息化办理。

　　顾晓怯率领团队从根本研发冲破，2021年成功研制出第一代天车（OHT）设备，建成国内首条可模仿半导体干净车间场景的 AMHS Demo线 毫米定位精度的实测数据，验证国产系统的手艺可行性。

　　创业初期，团队面对手艺取市场的双沉挑和：一方面，日企已建立成熟专利壁垒，焦点手艺难以自创；另一方面，国内晶圆厂对国产 AMHS 缺乏信赖。

　　财产基金、处所本钱取科技企业之间的协同，成川科技的这一轮融资，也反映出国产高端制制配备正在财产链中的正正在逐渐提拔。

　　取合作敌手比拟，成川科技的差同化劣势集中正在三方面：一是手艺冲破领先，率先实现12 寸先辈封拆线 AMHS 整线国产交付验收；二是市场策略务实，采用“从封测到晶圆制制”的梯度拓展径，先正在封测、降低市场验证门槛；三是供应链协同高效，取本土晶圆厂、零部件企业协同，正在响应速度取成本节制上优于海外企业。

　　2020年，顾晓怯抓住国产半导体配备兴起的窗口期，正在姑苏工业园区正式创立成川科技，聚焦半导体 AMHS 全体处理方案研发。

　　全球AMHS市场呈现稳健增加态势，2015-2022年从6。7亿美元增加至30。6亿美元，年复合增加率达24%，2022年即便面对行业波动仍逆势增加12%，估计2025年将达39。2亿美元。2015-2022年，中国AMHS市场规模从5。1亿元增加至47。6亿元，年复合增加率38%，估计 2025 年将冲破 81。5 亿元。

　　这一期间，晶圆厂以 6 寸及以下产线为从，晶圆分量轻、出产规模小，对物料搬运的从动化需求较低，未构成尺度化从动化系统。

　　顾晓怯曾正在三星半导体（姑苏）任职跨越20年，深度参取多条晶圆出产线的新建取改扩建，对行业极为熟悉。

　　日本大福做为全球龙头，营业笼盖半导体、显示面板等多范畴，手艺堆集深挚且系统不变性强，取全球支流晶圆厂成立持久合做；日本村田机械聚焦半导体高端制程 AMHS 设备，高精度定位手艺取定制化办事能力凸起。

　　当前 AMHS 行业正朝着智能化、高精取国产化标的目的升级：智能化方面，系统融入 AI 动态安排算法，可及时优化物料流转径，提拔出产效率；高精度取高速度方面，天车设备运转速度冲破 5 米 / 秒，定位精度达 ±1 毫米，能适配先辈制程需求；国产化方面，驱动电机、节制系统等焦点零部件逐渐实现本土替代，降低对外依赖。

　　本土企业中，劣势正在于软件算法取本土晶圆厂适配经验；华芯智能从攻封测范畴 AMHS 设备，以高性价比、短交付周期为焦点合作力。

　　成川科技创始人顾晓怯本科结业于工程大学热能工程专业（1985级），研究生结业于中国科学手艺大学。

　　2022年，成川科技的12寸先辈封拆线AMHS整线项目通过验收，团队延续“从封测到晶圆制制”的拓展径，先正在封测、碳化硅等细分范畴堆集客户（如长电科技等龙头企业），2024年成功切入12寸晶圆厂市场，拿下焦点出产场景订单。

　　2000年后12寸晶圆厂成为支流，单盒晶圆分量达8-15公斤，人工搬运无法满脚需求。此时，日本大福、村田机械推出第一代 AMHS 系统，以天车（OHT）为焦点实现工序间从动搬运，敏捷成为 12 寸晶圆厂标配。

　　300mm晶圆厂普及后，先辈制程工艺复杂度提拔，对 AMHS 的智能化、动态安排需求显著升级。但海外厂商垄断导致设备采购成本高、国产替代迫正在眉睫。正在此布景下， AMHS 系统融入动态决策、智能安排功能，成川科技、弥费科技等本土企业冲破手艺壁垒，推出国产整线处理方案。

　　当前AMHS市排场对三大核肉痛点：一是手艺壁垒高，2023年国内 AMHS 国产化率仅 5%，海外企业持久垄断；二是进口设备成本高、办事响应畅后，添加国内晶圆厂运营成本；三是先辈制程下，对系统动态安排、高精度定位的需求持续升级。

　　本轮融资由元禾控股和合肥建投结合领投，兴泰投资、合肥产投、包河创投跟投，老股东中科创星持续加注。

　　三是跨范畴延长，AMHS 手艺可复用至显示面板、新能源电池等高端制制范畴，打开增量市场，为行业成长注入新动能。

　　受近年来国度财产政策支撑、行业市场化驱动及国产替代等要素鞭策，国内半导体财产链持续完美，为AMHS的成长带来机缘。

　　一是国产替代盈利，国内 AMHS 国产化率仅 5%，跟着晶圆厂扩产取供应链平安需求，估计 2030 年国产化率无望提拔至 30% 以上，替代空间庞大？。

　　从市场份额看，全球 90% 以上的 AMHS 市场由日本大福、村田机械垄断，国内市场款式雷同，本土企业份额不脚5%。行业尚未构成本土头部企业，处于“海外双寡头垄断 + 本土企业突围”的阶段。

　　正在保守模式下，物料转运往往依赖人工或半从动设备，效率无限，难以满脚高干净度的出产要求。因而AMHS系统需求增加，而且一直取晶圆制制规模和手艺需求同步升级，大致可分为三个阶段。

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2025-10-16 15:13